TOC連続測定システム
ACCURAシリーズ
TOC連続測定技術・・・
超純水中に含まれるTOC(全有機炭素)は超短波長(184.9nm)によって分解・酸化され有機酸になり、 最終的には二酸化炭素と水になります。
従来はバッチ方式によるTOC測定技術が主流でしたが、 バッチ式では急激なTOCの増加や水質変化を検出する事が不可能なため緊急時のプロセス管理に対応する事が不可能でありました。
ACCURAシリーズは紫外線照射量、試料水流量、測定アリゴリズムを制御・ 応用することにより試料水の導電率変化量を検出しTOC測定を確実に行うことが可能となります。
また、ポータブルとして各ポイントの測定及びネットワーク機能を駆使することにより複数ポイントの集中管理を行なうことも可能となります。 |
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選定
3種類のTOC計ラインナップを提供することにより、半導体/液晶製造向け超純水、超々純水及び医薬・
製薬向け純水(WFI・調整水)中のTOCインライン連続測定とオプションポンプを使用してのTOCオフライン連続測定を可能としました。
さらにマルチネットワークシステムを構築することにより複数台のTOC計の集中管理を行なうことが可能となります。
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製品の特徴
- 連続測定で水質変化を瞬時にキャッチ。
- 簡単操作、メンテナンスフリー。
- コンパクト設計。
- 微少流量精密測定用導電率センサーを使用。
- 高出力紫外線ランプにより難分解性TOCの分解が可能。
- チャンバー特殊加工技術による均一した酸化特性。
- 測定データのメモリ機能。
- プリンター接続可能。
- 試薬、キャリアガスを使用しない。
- ネットワーク機能。
| 適応例 |
半導体超々純水 |
半導体超純水 |
医薬・製薬WFI/PW |
仕 様 |
型式 |
ACCURA-SX |
ACCURA-R |
ACCURA-H |
| 測定原理 | UV酸化導電率検出方式 |
| 測定範囲 |
0〜30.00ppb |
0〜999.9ppb |
| 繰返精度 |
±0.05ppb |
±0.1ppb |
| 分解能 |
0.001ppb |
0.01ppb |
| 水量 | >100ml/分 |
| 水圧 | 0.03〜0.5MPa |
| 水質 |
>10MΩ・cm |
>1MΩ・cm |
<20μS/cm |
| 水温 |
15〜40℃ |
5〜50℃ |
5〜99℃ |
| 寸法 | (W)326×(H)183×(D)348mm |
| 電源・消費電力 | AC100〜240V ±10% 50/60Hz 約50W |
| 重量 | 約8.5kg |
機 能 |
警報出力 | リレー接点2出力 接点容量 :AC125V/0.4A以下またはDC30V/2A以下 |
| 出力信号 | 4〜20mADCにてTOC、比抵抗、水温が選択可能 |
| 通信 |
インターフェイス:RS-232C
条件:2400bps・8bit Data・Parity 無し・1stop bit ハンドシェイク:RTS/CTSによるハードフロー制御 |
| プリンタ |
RS-232Cポートにて接続(推奨オプション:型式 DPU414) |
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オプション: 1.オフラインポンプ 2.試料水自動切換え装置